Параметры микрометрии измеряются с помощью профилометра модели 130. Профилометр состоит из индуктивного датчика с иглой и опорой на измеряемую поверхность, закрепляемого в электромеханическом приводе, с помощью которого он перемещается по горизонтальной измеряемой поверхности. В вертикальном направлении, для обеспечения контакта датчика с измеряемой деталью, привод с датчиком перемещается по колонне, установленной на плите, на которой базируется измеряемая деталь (рис. 7). Принцип работы профилометра основан на ощупывании алмазной иглой неровностей измеряемой поверхности в процессе её перемещения вдоль измеряемой поверхности и последующем преобразованием возникающих при этом механических колебаний иглы индуктивным датчиком в измеряемый сигнал.

Технические характеристики профилометра модели 130:
A. Диапазон измерений:

• параметров Ra и Rq, мкм 0,012 – 50;
• параметров Rp и Rv, мкм 0,025 – 125;
• параметров Rz и Rmax, мкм 0,05 – 250;
• параметров Sm, S, λa, λq , мкм 10 – 1600;
• параметра Lo, мкм 100 – 100 000;
• параметра lo 1 – 10;
• параметра D, 1/см 4 – 1000;
• параметров Δa и Δq, град. 0,01 – 30;
• параметра tp , % 1 – 100.

B. Предел допускаемой основной погрешности Δ для профиля, близкого к трапецеидальному, с шагом неровностей, не превышающим 0,25 λb:

• при измерении параметра Rа: Δ = 0,02П + 0,04И;
• при измерении параметров Rz, Rmax, Rp, Rv и Rq: Δ = 0,03П + 0,05И;
• при измерении параметра Sm, S, λa, λq: Δ = 0,02П + 0,10И;
• при измерении параметра tp : Δ = 0,08П + 0,02И;
• при измерении параметров D, Lo, lo, Δa и Δq: Δ = 0,14И, где И – действительное (измеренное) значение соответствующего параметра, П – верхний предел поддиапазона измерений соответствующего параметра.

Параметры шероховатости вычисляются согласно ГОСТ 2789-73 на определённой базовой длине. Для этого в профилометре предусмотрена фильтрация измеренного профиля: низкочастотным фильтром с «волной среза снизу» – отсечкой шага λb и высокочастотным фильтром с «волной среза сверху» λs, аналогичным по действию аппаратным фильтрам устранения помех и наводок в электрических системах. Выбор определённой отсечки λb означает, что измеряемый профиль, являющийся совокупностью неровностей с различным шагом, фильтруется таким образом, что параметры шероховатости вычисляются на базовой длине, равной значению шага отсечки.